????原標(biāo)題：飛天有我：星辰大海守護(hù)你

????——記天宮二號飛行任務(wù)聲表面波器件的研制團(tuán)隊(duì)

????新華社北京9月16日電（陳瑞,、陳佳佳,、王婷）六月剛送走“長征七號”火箭,，現(xiàn)下,，中國航天科工集團(tuán)二院23所下屬北京航天微電科技有限公司（下簡稱“微電公司”）又守護(hù)著天宮二號。他們研制的聲表面波濾波器,，過濾掉沿路的大氣層,、鄰近空間和太空中的雜散噪聲信號，電磁環(huán)境再復(fù)雜，都能實(shí)現(xiàn)自動消音,，只有天宮和神舟飛船的信息才會被傳遞給地面的“家里”,。這個(gè)法寶，只有指甲蓋大,。

????百級生產(chǎn)超凈環(huán)境,，1立方米空間中含有的直徑大于0.5微米的顆粒不超過3500個(gè)，經(jīng)過除塵,、除靜電,、風(fēng)淋等多道程序才能進(jìn)入生產(chǎn)線，生產(chǎn)者常年白衣白帽白口罩緊裹,，生產(chǎn)產(chǎn)品的最細(xì)線條相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的1/200,，操作需要在50、500甚至1500倍的高倍顯微鏡下進(jìn)行,。那神奇的濾音法寶,，就出自一群顯微鏡前工作的人之手。由于常年工作在微納加工的超凈間, 與外界幾乎隔離,，即使是同在公司工作很久的其他部門同事,，對他們的工作內(nèi)容也不甚了解。

????航天質(zhì)量助力民族“飛天夢”

????聲表面波器件是火箭上分系統(tǒng)的核心元器件,，主要配套于信號處理系統(tǒng),，由于大氣層、鄰近空間和太空中的電磁環(huán)境復(fù)雜,，雜散噪聲信號眾多,，聲表面波濾波器的主要作用就是濾除噪聲信號，保證載波信號傳輸流暢,，不失真,。

????考慮火箭發(fā)射和空間運(yùn)行過程中近乎嚴(yán)苛的極冷極熱、失重超重等極端環(huán)境,，器件可靠性高、壽命長,，更是不能放松的質(zhì)量目標(biāo),。

????由于配套的產(chǎn)品膜厚不同，100nm以下的超薄膜層附著力差會引起器件損耗增大,，指標(biāo)超差,。作為前工序組長的老王對生產(chǎn)中存在的問題積極開動腦筋，采取不同的方法解決,，攻克了潮濕天氣膜層附著力的難題,，通過反復(fù)幾十次試驗(yàn)，在不同膜層結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上優(yōu)化了參數(shù)，保證了膜層附著力,。

????作為光刻工序的老師傅老孫負(fù)責(zé)光刻芯片的鏡檢工作,，每天在顯微鏡下對著上千個(gè)芯片圖形，而每個(gè)圖形的線條寬度都是微米級的,，需要把每一個(gè)圖形的缺陷準(zhǔn)確而快速的剔除,。這是耗氣力的眼力活，每天眼睛都和小白兔一樣紅,。

????粘片工序的小曹是后工序的組長,，有著在玉米粒大小的管殼將小米粒大小的芯片裝配上去的絕活，由于芯片又薄又脆,，需要保證芯片沒有劃傷和崩邊,，這一手微組裝的絕活要徒弟們練個(gè)幾年才能上手。

????壓焊工序的郁師傅,，對高可靠產(chǎn)品的壓焊有獨(dú)到的手法,，為了滿足器件的指標(biāo)，需要在不足0.2mm的鍵合區(qū)將50微米的壓焊絲垂直壓焊,，還要保證焊點(diǎn)的形變量,，其手法難度如同在米粒上刻字。

????而壓焊工序的小劉,，結(jié)合多年的生產(chǎn)操作和對產(chǎn)品器件的認(rèn)知,，針對各種型號的產(chǎn)品器件設(shè)計(jì)并制作了新的工裝夾具，使操作更方便可靠,，提高了產(chǎn)品的一致性可靠性,。為了提高生產(chǎn)效率還發(fā)明了并制作了批量蓋帽、批量摘帽,、批量清洗等一系列的批量操作方法和夾具,。

????公司為應(yīng)對大批量的器件訂單，新引進(jìn)了一臺國產(chǎn)全自動壓焊設(shè)備,，早期全自動壓焊設(shè)備有自動定位困難,，只能使用細(xì)硅鋁絲導(dǎo)致可靠性差等問題。經(jīng)過一段時(shí)間的研究與改進(jìn),，小劉設(shè)計(jì)了針對全自動機(jī)器定位困難的定位蓋板,，解決了連生產(chǎn)廠家都沒有解決的產(chǎn)品定位困難和粗硅鋁絲使用的壓焊技術(shù)，使此國產(chǎn)機(jī)器達(dá)到了進(jìn)口機(jī)器的水平,，大大提高了生產(chǎn)效率和可靠性,。

????張師傅在縫焊小尺寸器件時(shí)，將每一個(gè)蓋板認(rèn)真對位,，其精度小于1絲,，由于蓋板只有大米粒那么大,，稍有偏差就會造成器件漏氣，這是眼力和耐心的考驗(yàn),。

????為了質(zhì)量,，為了可靠性，更為了航天這塊“金字招牌”,，團(tuán)隊(duì)不敢有絲毫放松,。

????技術(shù)，為“飛天”而生

????聲表面波濾波器工藝隊(duì)伍平均年齡不足30歲,，工作時(shí)間最長的也僅有10年,。團(tuán)隊(duì)里的小鮮肉雖然年紀(jì)小，卻學(xué)歷高,、有沖勁,。

????微納光刻加工工藝是聲表面波濾波器芯片加工工藝的核心，也是實(shí)現(xiàn)器件性能的關(guān)鍵,。在尺寸不到1平方毫米的半透明襯底上,，成百上千根線寬僅為頭發(fā)絲直徑1/40的納米尺度的芯片電極密集排布，肉眼根本無法看見,。

????光刻加工時(shí),，光線在半透明襯底上有各個(gè)方向的折射與反射，極大增加了加工難度,。而在采用新設(shè)計(jì)后,，設(shè)計(jì)要求的芯片電極最細(xì)線寬超過了公司現(xiàn)有光刻機(jī)的分辨率上限。

????小賀在光刻間摸索了幾個(gè)月,，休息時(shí)間查閱大量國內(nèi)外文獻(xiàn),，并積極與晶片生產(chǎn)廠家交流，最終想出了這個(gè)點(diǎn)子,。他優(yōu)化了整套光刻工藝方案,，最終實(shí)現(xiàn)納米尺度極細(xì)線條的精準(zhǔn)制作，不但解決了“長征七號”的需求,，還把公司生產(chǎn)的聲表濾波器的頻率一致性和準(zhǔn)確性提升了20%以上,。

????解決一個(gè)“攔路虎”，又添一個(gè)“堵路石”,。

????火箭需要脫離地心引力需要至少7.9km/s2的加速度,，而聲表濾波器芯片的聲學(xué)性能和材質(zhì)限制決定了芯片不能采用高強(qiáng)度固定方式，只能使用有機(jī)粘接膠固定,。

????為了實(shí)現(xiàn)器件的小型化，工藝團(tuán)隊(duì)縮小了外殼尺寸,，連帶減小了粘接區(qū)域余量,，要求粘接工藝精度極高,，膠量稍有偏差就會造成溢膠、膠量不足,，引發(fā)一系列可靠性問題,。

????如何實(shí)現(xiàn)精確點(diǎn)膠、保證粘接膠的粘接強(qiáng)度及在惡劣環(huán)境的可靠性成為擺在團(tuán)隊(duì)成員面前的一道難關(guān),。

????小孟通過建立芯片面積與所需膠量最佳值的數(shù)學(xué)模型,，編寫軟件自動生成點(diǎn)膠量與各膠點(diǎn)位置的工藝參數(shù)表，通過對照工藝參數(shù)表,，使操作者在保證高度工藝一致性,、穩(wěn)定性的前提下可精確完成芯片粘接操作。

????這項(xiàng)為了“飛天”而生的點(diǎn)膠粘接技術(shù)后來成功申請為一項(xiàng)國家專利,。

????為了我們的航天夢

????工藝團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人陳哥總自豪的說：“我們是有責(zé)任感,、戰(zhàn)斗力強(qiáng)的隊(duì)伍?！?/p>

????項(xiàng)目研制攻關(guān)的時(shí)候,，倪姐的孩子病了，年輕的母親放下手中的工作匆忙趕去醫(yī)院,，照看了一天發(fā)現(xiàn)病情稍有好轉(zhuǎn),，她便將孩子委托給婆婆照顧，自己又返回單位繼續(xù)工作,，結(jié)束一天的工作回到家中,，孩子早已睡去。

????小賀有一次回老家探親,，和鄰座的乘客聊家常,，5個(gè)多小時(shí)后車到站，臨下車前對方問到：“小伙子你挺厲害啊,，一路上也沒見你去趟廁所,？”

????“我這也是平時(shí)工作需要，經(jīng)常要在光刻間連續(xù)工作很長時(shí)間,，由于出入凈化間頻繁更換凈化服會引入灰塵顆粒影響車間潔凈度,，所以喝水少，時(shí)間一長,，都練出來了,。”

????“你也不看看這是誰做的產(chǎn)品”,，每當(dāng)談?wù)撈鸸タ艘粋€(gè)個(gè)技術(shù)難點(diǎn)時(shí),，自豪感和成就感浮現(xiàn)在每一個(gè)團(tuán)隊(duì)成員的臉上。

????在器件的研制過程中,，可靠性是一條紅線,，器件性能再好,，沒有可靠性根本無法使用。

????在某產(chǎn)品低溫測試時(shí),，小徐發(fā)現(xiàn)在經(jīng)歷高低溫瞬間的劇烈變化時(shí),，器件幅頻曲線會產(chǎn)生僅僅不到3秒左右的波動，幾秒鐘后測試器件性能又恢復(fù)正常,。

????這幽靈一般閃現(xiàn)的問題讓小徐絞盡腦汁,，他將各種可能的因素以及故障模式綜合歸類，畫出5頁A4紙的故障分析樹,。兩個(gè)月的時(shí)間,，他為了這3秒鐘的幅頻波動，對失效器件反復(fù)進(jìn)行了上百次高低溫試驗(yàn),，問題終于被準(zhǔn)確定位在芯片材料上,，并找到相應(yīng)的影響機(jī)理和解決措施。

????一輪輪工藝試驗(yàn),、一次次技術(shù)改進(jìn),，為航空航天系統(tǒng)、國防武器裝備配套著可靠的產(chǎn)品,，為用戶提供著優(yōu)質(zhì)的服務(wù)品,，這就是在“航天長征”路上的北京航天微電公司精益求精的聲表面波濾波器工藝團(tuán)隊(duì)，為實(shí)現(xiàn)中國夢,、航天夢,，正在不斷努力著！